1. 真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學(xué)品、溶劑及粉末等。如易燃?xì)怏w、含國(guó)家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
2. 進(jìn)氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。
3. 抽含有水蒸汽的氣體時(shí)，要打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過(guò)此極限，將會(huì)縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。
4. 真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會(huì)有爆炸、火災(zāi)等危險(xiǎn)。
5. 不要由一兩個(gè)人移動(dòng)此泵。此由專業(yè)人員搬運(yùn)、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查，否則會(huì)有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險(xiǎn)。
6. 不要繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會(huì)有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險(xiǎn)。
7. 檢查確定此泵安全接地。
8. 泵工作過(guò)程中或剛停機(jī)時(shí)不要接觸泵電機(jī)或金屬部件(因?yàn)楣ぷ鲿r(shí)很熱，最高可能達(dá)到70℃)。如確實(shí)需要接觸，采取必要防護(hù)措施防止受傷。
9. 必須安裝電機(jī)保護(hù)開(kāi)關(guān)。
10. 不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導(dǎo)致真空度上不去。
11. 在進(jìn)氣口處裝截止閥。真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低，是因?yàn)榕艢饪谔幍拇髿夥抵吝M(jìn)氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。
12. 排氣口處要接排氣管，以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。
(邁特真空 郭鵬)